此前,國際學術界與產業界經過10余年攻關,已成功制造出只有數百個原子長度、若干個原子厚度的高性能基礎器件。而將這些“原子級精密元件”組裝成完整的集成電路系統,卻始終受困于工藝精度與規模均勻性的協同良率控制難題。
經過5年技術攻關和迭代,研究團隊在該領域取得了突破性成果。“通過自主創新的特色集成工藝,‘無極’集成晶體管達5900個,實現了二維邏輯功能全球最大規模驗證紀錄。”周鵬說。
“無極”的工藝流程非常復雜,參數設置依靠人工很難完成。周鵬說,團隊創新開發了AI驅動工藝優化技術,通過“原子級界面精準調控+全流程AI算法優化”雙引擎,實現了從材料生長到集成工藝的精準控制,可以迅速確定參數優化窗口,提升晶體管良率。
通過概念驗證后,“無極”正在計劃進入中試階段。據介紹,在“無極”的電路集成工藝中,70%左右的工序可直接沿用現有硅基生產線成熟技術,而核心的二維特色工藝也已構建包含20余項工藝發明專利,結合專用工藝設備的自主技術體系,為未來的產業化落地鋪平道路。
周鵬介紹:“在待機條件下,3微米尺寸的二維半導體和28納米尺寸的傳統半導體耗能是一樣的。”這意味著在同樣大小和規模的情況下,二維半導體處理器耗能將大大低于傳統處理器。
周鵬還表示,二維半導體將會與傳統的硅基半導體長期共存互補。從遠期來看,二維半導體微處理器會沿用傳統微處理器的設備接口等,能直接應用于各種傳統應用場景。“無極”采用的RISC-V是一種開源的計算架構。“我們相信,它將會對我國相關產業的未來產生深遠影響。”他說。
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